Hitachi SU8600冷场电镜相比其它热场电镜，在拍摄易受电子束损伤的样品上，存在较大优势，如锂电池隔膜，和半导体光刻胶等样品。并且可与多种设备连用，如离子研磨、AFM，真空转移装置等：
A. 与原子力显微镜联用：实现同一品牌扫描电镜和原子力显微镜的坐标联用，两台设备可以独立工作，保证坐标共享精度优于10微米。原子力显微镜可以搭载EFM模块，在SU8600拍摄锂电池隔膜SEM影像以后，进行电性测量。
B. 与光学显微镜联用：可以与任意品牌型号的光学显微镜联用，两台设备可以独立工作，可以利用光学显微镜图片导航，并叠加电镜和光镜图片。
C. 与真空转移盒联用：实现同一品牌扫描电镜和真空转移盒联用，保证样品隔绝空气下制备和观察，避免样品受到空气污染（如锂电池行业样品），真空转移盒也可以扩展与AFM、离子研磨等联用。
a. 锂电池隔膜拍摄：着陆电压30V，底片放大倍率50K，使用减速功能拍摄，极低加速电压下的SEM图像能够显示最真实的形貌。
b. 光刻胶样品的冷场电镜观察：采用上探头减速模式，适合观察易受电子束损伤的样品。图片反映了样品表面细节，并且样品没有受到电子束损伤。
c. Hitachi冷场电镜与真空转移盒连用：锂电池样品制备后，使用真空转移装置放入电镜观察，避免空气污染
1. 冷场电镜与热场电镜的区别：
场发射是在灯丝尖端施加电场，降低灯丝势垒，从而实现电子的发射。
冷场和热场的灯丝均是单晶钨蚀刻而成，区别是热场灯丝尖端有氧化锆镀层，所以热场灯丝较粗，发射出的电子束直径较粗，亮度小于冷场1个数量级，与冷场相比不利于高分辨，此外热场灯丝工艺复杂，价格高。
冷场是单纯场至发射，电子束直径小，电子发射密度高，电子能量分散小，非常有利于高分辨。
2. 分辨率：
Hitachi SU8600可验收的二次电子分辨率是0.7nm@1kV，设备标配2个探测器：Upper/Lower探头，且独特的探头设计使得可以在3kV以下成BSE图像。
由于半导体样品有很多对电子束比较敏感，例如PR，所以成像观察时候的电压较小；而Hitachi可以在3KV下成BSE像，并能够将SE-BSE任意比例混合成像，在注重区分成分衬度的同时也兼顾成像能力。如下图：
a.光刻--显影--蚀刻后未去胶的半导体芯片pattern
SU8600接收信号能力强，分辨率高，通过标配的Top/Upper探头观察激光发射器芯片，可以直接看见7nm的量子阱（样品直接裂片后拍摄，不喷金），传统观察量子阱需要做TEM试片分析：
3. 搭配能谱仪：
由于EDS技术上的发展，目前市面上的EDS只需要pA级别的束流，SU8600最大束流可以达到22nA，完全满足EDS及EBSD的需求。而能谱的能量分辨率是由能谱本身决定，但是空间分辨率由电镜决定，低电压和小束流的条件下，空间分辨率更好，而低电压和小束流正是冷场的优势。
4. 真空度：
冷场电镜真空度更高，比热场电镜高一个量级，而真空度越高，越适合高分辨观察。SU8600电子枪真空度可以达到10-8Pa，只有日立有3个离子泵外加化学吸附泵，其他热场都是2个离子泵，没有化学吸附泵。
5. 防污染措施：样品交换仓设计
Hitachi SU8600标配样品交换仓，换样速度快，有助于提高工作效率，换样时间≤1分钟；且不需要大开仓，样品室不易受污染，便于SEM日后的维护保养。
6操作保护：
Hitachi为自动防碰撞保护，仪器会根据样品高度卡死可移动角度，永远不会出现样品在Tilt或移动过程中造成碰撞探头的现象。其他家SEM是通过CCD观察操作，电镜是否安全依赖于操作员主观观察，具有操作风险。
7. 维护保养：
冷场电镜1根灯丝可保证5年以上寿命，物镜光阑4年（Hitachi配有独特的物镜光阑自清洁技术，可以明显提高仪器对污染的耐受力）。
热场电镜1根灯丝寿命1~2年，且更贵。
8. 环境耐受性：
Hitachi SU8600环境耐受性强，接地电阻小于100欧姆即可；欧美系SEM需要小于0.1欧姆。
9.市占率：
目前Hitachi SU8600已经是第三方实验室芯片分析的主流设备，如MA-tek，IST，Win-tech，广电计量等，都有Regulus8220/SU8600机型。12寸Fab厂更是将其作为FA实验室标配。